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气体流量计/控制器HFM-205/HFC-207
气体流量计/控制器HFM-205/HFC-207
| HFM-205气体流量计 | HFC-207气体流量控制器 | |
| 范围（用户可选） | 0 - 1000 slm to 0 - 2500 slm (N2) | 0 - 1000 slm to 0 - 2500 slm (N2) |
| 精度 | 满量程的+ 1.0% | 满量程的+ 1.0% |
| 重复性 | 满量程的+ 0.05% | 满量程的+ 0.05% |
| 最大工作压力 | 500 PSIG | 500 PSIG |
| 模拟量输入/输出 (标准) | 0 - 5 VDC | 0 - 5 VDC |
| 模拟量输入/输出 (可选) | 4 - 20 mA输入和输出, 0 - 20 mA, 0 - 5 VDC输入/ 4 - 20 mA输出 | 4 - 20 mA输入和输出, 0 - 20 mA, 0 - 5 VDC输入/ 4 - 20 mA输出 |
| 接口选项 | VCR®, VCO®, Swagelok®, 直螺纹 | VCR®, VCO®, Swagelok®, 直螺纹 |
| 弹性密封选项 | Viton®, Kalrez, Buna-N, Neoprene | Viton®, Kalrez, Buna-N, Neoprene |
| 电气连接 (+/- 15 VDC) 电气连接 (+24 VDC) | D型15针 D型9针 | D型15针 D型9针 |
| 电源(+/- 15 V) 电源(+24 V) | +(14 - 16) VDC @ + 30 mA (<1 W) (14-32) VDC (<1.9 W) | +(14 - 16) VDC @ + 60 mA / -185 mA (<3 W) (14-32) VDC (<3 W) |
| 湿液材质 | 302 SS, 316 SS, Nickel 200, Viton® | 302 SS, 316 SS, Nickel 200, Viton®, Kalrez® (阀座) |