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气体流量计/控制器HFM-300/HFC-302

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气体流量计/控制器HFM-300/HFC-302


HFM-300气体流量计HFC-302气体流量控制器
范围(用户可选)0 - 10 sccm to 0 - 25 slm (N2)0 - 10 sccm to 0 - 25 slm (N2)
精度满量程的+ 0.75% 5    sccm to 10 slm
     满量程的+ 1.00%    10 slm to 25 slm
满量程的+ 0.75% 5    sccm to 10 slm
     满量程的+ 1.00%    10 slm to 25 slm
重复性满量程的+ 0.07%满量程的+ 0.07%
最大工作压力500 PSIG (可选1000 PSIG)500 PSIG (可选1000 PSIG)
模拟量输入/输出 (标准)0 - 5 VDC0 - 5 VDC
模拟量输入/输出 (可选)4 - 20 mA输入和输出,
     0 - 20 mA, 
     0 - 5 VDC输入/ 4 - 20 mA输出
4 - 20 mA输入和输出,
     0 - 20 mA, 
     0 - 5 VDC输入/ 4 - 20 mA输出
接口选项Surface Mount, VCR®, VCO®, Swagelok®, 直螺纹Surface Mount, VCR®, VCO®, Swagelok®,直螺纹
电气连接D型15针D型15针
电源+15 VDC @ 55 mA+15 VDC @ 55 mA
湿液材质316L SS, Nickel 200, 302 SS316L SS, Nickel 200, 302 SS, Kalrez® (阀座)