全国服务热线:
021-61172702

气体流量计/控制器HFM-200/HFC-202

产品中心 > 质量流量产品 > 气体流量计/控制器HFM-200/HFC-202

气体流量计/控制器HFM-200/HFC-202


HFM-200气体流量计HFC-202气体流量控制器
范围(用户可选)0 - 10 sccm 至0 - 25 slm (N2)0 - 10 sccm 至 0 - 25 slm (N2)
精度满量程的+ 1.0%满量程的+ 1.0%
重复性+ 0.05% of    full scale+ 0.05% of    full scale
最大工作压力500 PSIG (可选1000 PSIG)500 PSIG (可选1000 PSIG)
模拟量输入/输出 (标准)0 - 5 VDC0 - 5 VDC
模拟量输入/输出 (可选)4 - 20 mA输入和输出,
0 - 20 mA, 
0 - 5 VDC输入/ 4 - 20 mA输出
4 - 20 mA输入和输出,
0 - 20 mA, 
0 - 5 VDC输入/ 4 - 20 mA输出
接口选项VCR®, VCO®, Swagelok®, 直螺纹VCR®, VCO®, Swagelok®,  直螺纹
弹性密封选项Viton®, Kalrez, Buna-N, NeopreneViton®, Kalrez, Buna-N, Neoprene
电气连接 (+/- 15 VDC)
     电气连接 (+24 VDC)
D型15针
     D型9针
D型15针
     D型9针
电源(+/- 15 V)     
电源(+24 V)
+(14 - 16) VDC @ + 30 mA    (<1 W)
     (14-32) VDC (<1.9 W)
+(14 - 16) VDC @ + 60    mA / -185 mA (<3 W)
     (14-32) VDC (<4.2 W)
湿液材质316LSS, Viton®, 82/18 Au/Ni Braze, Trace Ag Solder302 SS, 316L SS, Nickel, Viton®, 82/18 Au/Ni    Braze, Trace Ag Solder, Kalrez® (阀座)